$长光华芯(SH688048)$

光刻机的DeepSeek 时刻？

中国正在与ASML竞争。激光诱导放电等离子体(LDP)EUV产生商业化的推动是我所担心的光刻技术的“深度探索”时刻。

LDP比ASML使用的激光等离子体(LPP)效率高得多。LDP将少量的锡汽化成两个电极之间的云，然后使用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞产生13.5nm EUV光。LPP需要高能激光和复杂的FPGA实时控制电路。

LDP方法更简单、更小、更具成本效益和更好的能效。

随附LDP生成方法与LPP的比较。

某机构近期观点

茂莱光学：一定要重视，这轮后道先进封装gkj龙头主线。

英诺激光：gkj非常强悍的标的，光源核心部件

周末讨论非常热的话题——LDP EUV和LPP EUV的区别

根据公开信息整理，LDP技术通过激光将锡球汽化形成云状物，然后通过施加高压的电极将其转化为等离子体，等离子体与电子碰撞产生13.5nm的EUV光。与LPP技术相比，该方法能够实现更高的能量转换效率，并在成本上存在明显优势。技术上存在功率输出的限制和优化放电脉冲参数的挑战。

我们从文中分析，LDP技术依然需要非常精密的光源来气化锡球，而光源的关键部件是激光器，而激光器的挑战在于功率和脉冲参数，建议关注激光器产业的进展。